失效剖析 赵工 半导体工程师 2024年12月14日 09:44 北京
半导体光刻胶是出产分立器材、LED、集成电路等产品的要害资料,它经过缩短曝光波长来提高极限分辨率,以此来完成集成电路的高密度集成。根据曝光波长的不同,半导体光刻胶被细分为多个品类,包含紫外宽谱(波长为300-450纳米)、g线纳米)、i线.5纳米)光刻胶以及电子束光刻胶等。
全球光刻胶商场呈现出高度集中的态势,核心技能主要由日本、美国等世界大公司所把握。在这一些企业中,合成橡胶(JSR)、东京应化、信越化学、住友化学、富士胶片、杜邦等领军企业占有了全球半导体光刻胶商场的大部分比例,特别是在高端技能范畴具有明显优势。尽管我国的上海新阳、彤程新材、徐州博康、晶瑞电材等企业在某些低端光刻胶范畴取得了必定效果,但在高端干膜光刻胶方面,因为技能壁垒较高且工业链起步较晚,其国产化率仍然较低。据职业多个方面数据显现,现在g线%,I线光刻胶的国产化率也约为20%,而KrF光刻胶的国产化率缺乏5%,ArF光刻胶的国产化率更是低于1%。
从商场散布来看,日本厂商在光刻胶职业中占有主导地位,尤其是在KrF、ArF、ArFi及EUV等高端光刻胶技能的量产上体现杰出。美国的杜邦和德国的默克同样在全球商场中占了重要方位,尤其在高端光刻胶范畴具有明显技能优势。我国光刻胶工业虽在追逐,但在G/I、KrF、ArF范畴已开始具有量产才能,而EUV和高端ArFi光刻胶范畴则仍处于研制或验证阶段。
跟着AI、HPC需求的增加,以及手机、PC、轿车等商场的部分回暖,半导体工业迎来了新的开展机会,半导体用光刻胶商场规模也将随之扩展。在此布景下,我国政府分外的注重半导体与质料工业的开展,出台了一系列政策措施,旨在推进光刻胶职业的研制和出产,加快核心技能国产化进程。
面临原资料本钱高、出产的根本工艺杂乱、核心技能依靠进口、质量不稳定等应战,以及国产化需求的日益增强,国内光刻胶企业正活跃寻求打破,努力提高自给率,推进工业向高端化跨进。一起,上下游企业间的协作将愈加严密,加强研制工业链整合,一起应对商场应战。展望未来,我国光刻胶工业充溢无限或许,开展前途广阔。
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